三甲胺[N(CH3)3]MIS传感器的研制Development of Trimethylamine MIS SENSORS
吴英才
摘要(Abstract)：
研制探测鱼鲜度的传感元件。用含铟（In）杂质的TiO2材料作溅射靶，采用氩离子束镀膜机在硅片上镀膜，用常规蒸铝技术和光刻技术制成MIS结构。结果表明：在1MHz的测试频率下，当三甲胺浓度从0变化到0．1％时电容发生了250％的变化。在3V的偏压下，电流改变了450％。直接用鲜鱼测试时，在25h内该结构的电容和电流的响应很敏感，且接近线性关系。
关键词(KeyWords)： 传感器;MIS结构;三甲胺;鱼鲜度
基金项目(Foundation):
作者(Author): 吴英才